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        磷烷
        hgm
        PDF 166478
        磷烷(PH3)是一種無色、劇毒、易燃的儲存于鋼瓶內的液化壓縮氣體。
        產品特性
        磷烷需按照高毒性且自燃的氣體處理。吸入磷化氫會對心臟、呼吸系統、腎、腸胃、神經系統和肝臟造成影響。
        應用說明
        磷烷常用于電子混合氣生產,用于半導體集成電路生產的摻雜工藝中。
        應用領域
        能源和化學品
        電子電器
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