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        砷烷
        hgm
        PDF 165758
        砷烷(AsH3)是一種無色,密度高于空氣,可溶于水及多種有機溶劑的氣體。
        產品特性
        常溫下砷烷很穩定,分解成氫和砷的速度非常慢,但溫度高于230°C時,它便迅速分解。
        應用說明
        砷烷常用于半導體集成電路生產的摻雜、離子注入等工藝中。
        應用領域
        能源和化學品
        電子電器
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